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针对图2中的流程,应注意以下问题:
(1)明确目标参数。目标参数包括双银Low-E镀膜玻璃的可见光透过率T、透过颜色at、bt,玻面反射率Rg、玻面颜色ag、bg,膜面反射率Rf、膜面颜色af、bf,膜层面电阻,电导率,玻璃面色差DE。一般情况下,DT ±1%、DRg ± 1%、Dag ± 0.8%、Dbg ± 0.8%、Dat ±0.8%、Dbt ±0.8%。双银Low-E镀膜玻璃的非膜面色差DE要满足现行国家标准规定。
(2)设计膜层结构、配置靶材。在这个环节要明确各膜层所使用的靶材、各靶材的使用功率、工艺气体和反应气体配比。
(3)控制各单层膜的均匀性。监控各个单层膜厚度以nm为单位,其中,介质层横向厚度均匀性要在±1.5%以内;金属层横向厚度均匀性要控制在±1%以内。
(4)及时进行初调试环节和调试规律的总结。应重点归纳底层介质层、中间层介质层、顶层介质层对双银Low-E镀膜玻璃颜色参数的影响规律;底层Ag、顶层Ag对双银Low-E镀膜玻璃颜色参数、透过率、面电阻的影响规律;NiCr、NiCrOx等Ag层保护材料对Low-E镀膜玻璃颜色参数、透过率、抗氧化性的影响规律。一般情况下,单一膜层对镀膜玻璃的某一光热性能和抗氧化性能的影响具有差异性。
(5)按目标参数准确调试阶段。要结合各个膜层对双银Low-E镀膜玻璃性能的不同影响进行分析,实际调试过程中,膜系开发人员一般会同时调试多个膜层的功率、气体配比等参数。当调试参数与目标参数非常接近时,一般会采取微调某单一膜层溅射功率,以使调试参数不断趋近目标参数。
(6)定标阶段。此阶段应汇总如下数据:工艺参数(靶材配置、靶材功率、工艺气体配比、工艺速度)、调试样玻璃面和膜面颜色参数、表面电阻、玻璃面45°角色差值。
(7)调试样品参数至少要经过3次以上重复再现、每次2 h以上连续稳定生产,才可以确认新调试的双银Low-E膜系可以投入生产。
(8)为客户提供双银Low-E中空玻璃的U值、Sc值。随着对居民建筑节能性要求的不断提高,相关标准对外窗和玻璃幕墙的传热系数U和遮阳系数Sc提出了更为严苛的限值要求。另外,镀膜玻璃生产企业有必要为后续玻璃深加工企业提供双银Low-E镀膜玻璃加工指导书。
3 开发过程及实际投产需要注意的问题
双银膜系的开发目的就是获得一套工艺稳定、光学参数性能优良、机械性能和抗氧化性能较好的双银膜系产品。根据实际生产经验,笔者认为双银Low-E膜系开发过程及实际投产过程中需要注意以下问题:
(1)确定合理的目标参数。双银Low-E的辐射率一般能做到0.05甚至更低,其面电阻一般也可以做到3Ω以下,这个参数主要取决于Ag层的厚度;双银Low-E镀膜玻璃的透过率一般在50%~70%之间;考虑到安装到幕墙后的颜色,双银Low-E镀膜玻璃的玻璃面颜色ag一般在0~-5之间、玻面bg一般在-5~-10之间。选择合适的目标参数的重要原则是:既要有利于工艺上的实现,又要在将来的使用中给建筑师和业主以舒适的视觉效果。
(2)膜层总体结构设计合理。膜层结构是双银Low-E镀膜玻璃的最核心的技术指标。只有膜层结构设计合理,才能开发出理化性能优异、使用性能稳定的镀膜玻璃。另外,不同靶材的工艺气体和反应气体的配比和总量会对工艺稳定性、膜层应力、膜层耐酸性、膜层耐磨性、生产效率和生产节能性产生影响。
(3)重视双银Low-E膜层结构中单层膜厚度及均匀性对其整体性能的影响。双银Low-E膜层数较单银Low-E多,各膜层对最终产品的理化性能的影响敏感性不同。另外,双银Low-E中,单层膜的厚度均匀性对最终产品的颜色均匀性会有明显的影响,所以在调试双银工艺前,应该首先对单层膜的厚度均匀性进行调节并且了解单层膜的厚度范围。其中,对于非金属介质层的单层均匀性,一般可以通过镀膜玻璃膜面颜色参数bf值的均匀性来衡量;而包括Ag和NiCr在内的金属膜层的单层均匀性,一般可以通过镀膜玻璃透过率T值的均匀性来衡量。
(4)在初调试阶段,有必要总结每个膜层对产品理化性能的影响,尤其是各膜层对镀膜玻璃颜色和机械性能的影响规律,这项工作在后期准确调试中会起到重要的指导意义。
(5)按照目标参数进行准确调试。在这个阶段,我们是要在以上各阶段工作的基础上,通过工艺条件的监控、工艺参数的调整,最终实现具有目标参数和优异理化性能的产品。所以,在这个阶段重点工作应包括:调试过程参数记录、调试样品性能测试结果和最终工艺参数的确定。
(6)性能测试及通过连续性生产验证产品稳定性。这个阶段工作意义重大:首先,通过性能测试可以了解定样双银Low-E产品的各项性能指标,测试方法可以参照国标进行;同时,也为后续产品性能的提高和改进提供了方向,对于某项性能短板进行改进。因为双银Low-E膜系的复杂性,最终产品的性能对设备状态、工艺参数、真空度等条件有较高要求,只有通过连续性生产验证,具有可重复实现性的膜系才能在后续真正实现投产。
(7)关注用户使用情况,及时给予技术支持。要考虑目前国内玻璃深加工行业的现状,实际各加工厂的技术条件和加工实力差异很大。因此,笔者建议具有生产双银Low-E能力的玻璃加工企业,对新开发的双银Low-E镀膜产品编制详细的《加工指导书》,对下游玻璃深加工厂的加工条件给出加工要求,在必要时给予技术支持。这样,双银Low-E镀膜玻璃在国内建筑中,会得到更广泛的推广,也可以为整个社会节省更多的能量。【完】
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